鎢燈絲掃描電鏡的發(fā)射電流和光斑都比較適中，抗干擾能力和穩(wěn)定性比較好。可在低真空下對非導電樣品進行成像，并可用于形貌觀察、微觀結(jié)構(gòu)分析，以及斷口形貌分析。分析，在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域有著廣泛的用途。
樣品準備是鎢燈絲掃描電鏡分析中的重要環(huán)節(jié)，樣品的質(zhì)量和處理方法對成像效果有非常大的影響。通常將樣品制成薄片或表面光潔的粒子，用金、銀等容易導電的材料涂覆表面，然后通過真空室將樣品固定在樣品臺上。
鎢燈絲掃描電鏡的成像方式有高真空模式、低真空模式和環(huán)境模式等。成像模式包括掃描線、點掃描、陣列掃描等。成像參數(shù)包括加速電壓、探測電壓、掃描速度等。在選擇成像技術(shù)方面需要根據(jù)樣品的特點進行選擇，以便獲得*佳的成像效果。
在使用時盡可能少地頻繁開關(guān)鎢燈絲。次數(shù)過多會對鎢燈絲不利。它不僅大大降低了維護成本，而且保證了電子顯微鏡的高效穩(wěn)定運行。
